LCL-5A自动椭圆偏振测厚仪

LCL-5A自动椭圆偏振测厚仪

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测量范围
1nm-400nm
测量最小值
小于等于1nm
镀膜折射率范围
1.300-10.000
入射角
40°-90°
方位角读数范围
0°-180°
测量精度
±5nm
厚度
小于等于10nm